| 用于将探针保持在存储器中的探针盒，用于扫描探针显微镜 |
| EP19207663 2019-11-7 发明申请 |
| 2021-5-12 |
| 本公开涉及探针盒1，用于将探针60保持在存储装置中，以提供探针到扫描探针显微镜的探针支架的自动转移。 该探针盒包括具有体积V1的第一真空室C1， 和具有体积V2的第二真空室C2， 以及第一和第二真空通道10， 分别将第一和第二真空室流体连接到可流体连接到外部真空的出口30， 从而在施加外部真空时，保持探头相对于盒的安装位置和盒相对于样品台的安装位置。 所述探针盒被布置成在破坏保持探针盒的安装位置的第一腔室中的真空条件之前，允许破坏保持探针的安装位置的第二腔室中的真空条件。 |
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