| 光学显微镜之雷射加工之能量动态调整方法与光斑大小动态调整方法 |
| TW109125312 2020-7-27 发明授权 |
| 2021-5-11 |
| 光学显微镜之雷射加工之能量与光斑大小动态调整方法系应用于一雷射加工机该雷射加工机包含：一控制台、一计算模组、一雷射产生器、一光束调节单元、一扫描振镜、一光感测器、一视觉模组、一平场聚焦透镜、一分光镜、及一物镜该雷射产生器产生一雷射光束其通过该光束调节单元后形成一雷射加工光束其通过该扫描振镜及该平场聚焦透镜后再通过该分光镜及该物镜聚焦在一平面上该分光镜将该雷射加工光束的一部分导引至该视觉模组及光感测器再配合该计算模组可辨识/测量并记录能量及光斑大小据以作为加工时的动态调整基准。 |
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