| 晶片干燥器 |
| KR1020050071108 2005-8-3 发明申请 |
| 2007-2-8 |
| 目的 : 一种用于干燥晶片的装置被提供到停止一种制造过程或产生一个报警当一个弹性管是不正常的密封，通过测量所述弹性管的内压力，当一主体具有一个液体浴是不与一盖覆盖，使得所述主体是否是正常的密封被检测。结构 : 一清洗溶液是包含一种液体浴中(220)。所述液浴是安装在主体(200)。所述主体的内部是密封由一个盖(100)。一种气体供给部供给干燥气体以所述主体的内侧。一种密封之间的密封状态检测单元检测所述主本体和所述盖，以控制一制造过程，所述盖和所述主体之间的插入和包括一个弹性管(400); 一压力传感器(410)和一控制部分(500)。一种流动路径被形成在所述弹性管。压力传感器测量所述流动路径内的压力，连接到所述弹性管。所述控制部分控制一个当所测量的制造过程的压力值是小于一预定参考压力值。kipo2007 |
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