| 轮廓测定仪组件的离子注入机 |
| KR1020050107941 2005-11-11 发明申请 |
| 2007-5-16 |
| 目的 : 一轮廓仪组件的一离子注入机被提供到防止位置测量的错误轮廓仪的杯由精确地对准所述廓线杯上的一个端站使用轮廓仪的一中心线对准器。结构 : 一轮廓仪组件一离子注入机包括一轮廓仪的杯，一个移动轴和一轮廓仪对准器。轮廓仪的杯(120)是一真空室中安装到监视器所述剂量的离子束供给到一个端站。所述移动轴(130)是连接与所述廓线杯，以沿垂直方向移动所述廓线杯到一离子光束路径。所述廓线对准器(200)是用于在一中心线对准轮廓仪杯的所述端站。所述廓线对准器是由一个光的发光部分(192)用于将光照射到所述廓线杯和该端站的一个中心部分，第第一光接收传感器(194)在所述廓线的一个侧杯; 第第二光接收传感器(196)在所述中心部分的该端站，和一个控制部分(198)用于所述廓线控制一移动的方向杯，kipo2007 |
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