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用于相关显微镜的分级标记结构
DE102019216945 2019-11-4 发明申请
2021-5-6
本发明涉及一种用于相关显微镜的分级标记结构,其中该分级标记结构包括所述光学显微镜,电子束显微镜,离子束显微镜,扫描力显微镜和/或X射线显微镜。 所述标记结构具有至少一个标记组,所述标记组又具有至少三个在三个层级中的标记元素。 形成。 从标记元素及其彼此之间的空间关系可以参考感兴趣的样本区域的位置和/或焦点位置。
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