| 微机械陀螺仪 |
| RU2012106707 2012-2-22 实用新型 |
| 2012-7-10 |
| 本发明是一种下该测量技术，在特定的，以该仪器的区域制造，并且它能找到一种使用所述的导航系统之前，除了取向和控制所述不同对象的运动。微机械陀螺仪包含所述外壳，执行在所形成的付费，第一和第二相同的惯性质量块，每个它是由所述形成板从硅中和被连接用于为了所支付的由弹性交叉连接，静电振动驱动，块的电子器件，传感器输出的信号，所述的位移计的惯性质量块，静电驱动调谐的，锚固件和所述中心测量框架，所述内部弹性悬架之前放置。所述的移动所述传感器的梳状元件的输出信号和驱动调谐被放置在所述横向所述框架的两侧。所述板的惯性质量块的每个之前被执行的两个矩形切口，其被放置之前所述电容所述的位移计的惯性质量块，联合旁的该集成的差分位移传感器。在该精度的增加所述的工作的装置是技术结果。4[Z]。[P]。公式的，1illus。 |
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