| 微机械陀螺仪 |
| RU2013125267 2013-5-30 实用新型 |
| 2013-9-20 |
| 1。该微机械陀螺仪，其包括外壳，所形成的付费从介电材料中制成与所述取代下其层的硅，盖，[ypolnennuyu]从所述介电材料与所述壳体和紧固，所述的静电拾取器的力; 位移传感器，惯性质量，位于与所述间隙相对于支付和连接用于所述的缘故它通过所述弹性交叉连接，所述发生器，所述的电子电路工作的信号，所述支撑元件，所述电流-引线，并放置在所述付费，使其特征在于，所述的事实被引入所述温度传感器，由在所形成的所述环硅酸路径，所述的付费之前，该区的周边上敷设接触的盖与所述付费和其通过其端部连接到适当的[tokopodvodam]。2。[P]上的装置。1，其特征是由所述的事实所述的静电拾取器的力，位移传感器，该惯性质量，弹性交叉连接，支撑元件和由温度传感器被执行的联合所述的各向异性刻蚀硅元件通过所述的方法。 |
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