| 激光干涉仪 |
| RU2013158693 2013-12-27 实用新型 |
| 2014-5-10 |
| 激光干涉仪，含有光学连接的相干辐射源，准直器，衍射元件用于分离的波前在振幅和对象上的相位波前的零衍射级和支撑波前第一衍射的顺序，工作区与相位对象，镜对象的波前，后安装工作区，镜观察干涉图的参考波前和单元，在其反射镜安装物体和参考波阵面的垂直于所述的光学轴，其特征在于，它具有一投影透镜，衍射部件之间的安装和工作区与所述测试相耦合的平坦的STI的可能性对象与观察的干涉图后的扁平单元在反向行程通过衍射元件的对象的波前的零衍射级和参考波前的第一衍射的顺序。 |
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