| 微机械陀螺仪 |
| RU2003102790 2003-2-4 实用新型 |
| 2003-7-10 |
| 1。所述微机械陀螺仪，其包括外壳，所形成的付费从介电材料中制成与所述固定在它固定电极的所述梳状静电拾取器的力和位移传感器，支撑元件，所述框架，该惯性质量; 所形成的板从硅中制成与所述通过对[otversti]Mi，位于与间隙相对于支付和SV[zannuyu]与它通过所述弹性交叉连接，其保证所述位移的惯性质量沿着相互[perpendikul][rnykh的][peresekayushchikhs]的轴，其基于所述轴上的重合所述的对称性的惯性质量Mi和其位于旁边，其平面，所述的电子电路的处理信号，[otlichayushchiys]通过所述的事实所述弹性交叉连接形成内部和外部悬浮液。2。[P]上的装置。1，[otlichayushchees]的事实所述内部悬架包含四个弹性交叉连接，SV[zannye]通过一些端部与所述的惯性质量，和通过其它端部与所述框架。3。[PP]上的装置。1和2，[otlichayushchees]的事实所述外部悬架包含四个弹性交叉连接，SV[zannye]通过一些端部与所述框架，和通过其它端部通过所述支撑元件与所述壳体。4。[PP]上的装置。1-3，[otlichayushchees]的事实所述弹性交叉连接，其形成内部和外部悬挂装置，被执行的弯曲。5。[P]上的装置。1，[otlichayushchees]的事实，它是惯性质量，弹性交叉连接，框架，支撑元件，所述移动电极的所述梳状通过静电拾取器的力和位移拾取器被执行的联合各向异性元件通过所述的方法[travleni]晶体硅。 |
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