| 微机械陀螺仪 |
| RU2005117640 2005-6-7 实用新型 |
| 2005-11-10 |
| 使用 : 所述的区域中的测量技术，[DL][izmereni的移动对象的所述的角速度]，之前在特定该惯性导航的系统。isobrettnot香精 : 微机械陀螺仪包含所述外壳，所形成的付费从介电材料中制成与所述固定其上的固定电极的所述梳状静电拾取器的力和位移传感器，支撑元件，所述框架，该惯性质量，在所形成的板从硅制成的，位于与间隙相对于支付和SV[zannuyu]与它通过该弹性交叉连接，其保证所述的惯性质量沿该轴位移，基于一致的所述所述的惯性质量的对称性的轴的MI，所述的电子电路工作的信号。弹性交叉连接形成的内部和外部悬架和它们被弯折执行。 |
微信公众号