微机械陀螺仪
 
RU2006101704  2006-1-20  实用新型

2006-5-27
 
  使用 : 所述的区域中的测量技术,[DL][izmereni的移动对象的所述的角速度],之前在特定该惯性导航的系统。isobrettnot香精 : 微机械陀螺仪包含所述外壳,所形成的付费从介电材料中制成与所述固定在它固定电极的所述梳状静电拾取器的力和位移传感器,该惯性质量,由在所述形成板从硅的,位于与间隙相对于支付和SV[zannuyu]与它通过所述弹性交叉连接; 其保证所述的惯性质量沿该轴位移,其基于所述轴的MI一致的所述对称惯性质量和位于其旁边的平面,发电机,电流引线,电子电路工作的信号。电流引线被放置在所述付费。盖,[skreplenna]与所述外壳,所述胶囊的形式给出的结构,从其中[otkachivaest]空气。
 
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