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无悬臂扫描探针显微镜
WOUS20057510 2020-10-27 发明申请
2021-5-6
一种系统包括探头组件,照相机和控制系统。 探针组件包括刚性基板, 柔顺层,设置在所述刚性基板上;一个或多个刚性探针,设置在所述柔顺层上以覆盖所述柔顺层的至少一部分;以及反射层,覆盖所述一个或多个刚性尖端和所述柔顺层的未覆盖部分。 相机被配置为从探头组件产生图像数据。 所述控制系统被配置为至少部分地基于所接收的图像数据从所述相机接收图像数据并显影样品表面的形貌图像。
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