| 移动激光干涉仪 |
| RU2008139573 2008-10-6 实用新型 |
| 2009-2-27 |
| 1。所述的装置的[DL][izmereni]的位移，其包含所述建立所述的光具座上的光学系统在所述的基础不等-臂迈克尔逊干涉仪，其包括所述源的单色[izlucheni]，所述固定反射镜，其压电陶瓷基Sv。[zano]与所述注册所述的系统，执行与所述的[izmeneni的可能性]所述的光学路径长度，以及移动反射镜，[otlichayushchees]通过所述的事实使用一个单色[izlucheni]与所述持续的频率源的不稳定性不多个比10-10，固定反射镜是执行在所述形成一个平面-平行反射镜，所述的基础上建立，[sosto][shchem]除了两个与每个其它压电陶瓷元件不接触，注册系统另外含有所述的块[nakopleni]和[khraneni]的信息，在这种情况下该光学台和注册系统之前它们分别位于所述壳体。2。[P]上的装置。1，[otlichayushchees]的事实作为该源的单色[izlucheni]是用于所述的半导体氦-氖激光器。3。[P]上的装置。1，[otlichayushchees]通过所述的事实作为所述压电陶瓷元件被用于所述压电陶瓷缸和所述的盘，在该壳体固定反射镜是建立在所述压电陶瓷缸。 |
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