| 微机械陀螺仪，加速度计 |
| RU2008150887 2008-12-22 实用新型 |
| 2009-3-27 |
| 1。所述微机械陀螺仪-加速度计，其包含支付从所述介电材料，惯性质量，由在所形成的，从而从硅的[mougolnoy]板上与所述通过对[otversti]Mi和位于与间隙相对于支付和SV[zannuyu]与它通过所述弹性臂，其用于所述起见，一些端部被固定在下的所述的惯性质量，和通过其它端部通过所述中间元件到所述付费，所述电振动驱动，该传感器的力，其包含移动和固定元件的回转信道的所述电容式位移拾取器，该电容式位移accelerometric信道的拾取器，所述包含移动和固定元件，所述电子器件的块，[otlichayushchiys]通过所述上之前，该惯性质量的事实所述其对称性被执行的四个waspsM通过切割从所述的板以其周边到中心，内部其被置于所述弹性臂，其形成悬浮液，[pozvol][yushchiy]到惯性质量来完成[kolebani]两个在所述平面板从硅的和是正交于它。2。微机械陀螺仪上的加速度计[P]。1，[otlichayushchiys]通过所述的事实所述移动该传感器的元件的力被喷涂超过所述的惯性质量; 由在所述的[mougolnoy]板上形成的，从而从硅，和它们被放置在其角度，以及所述固定元件的所述传感器的力被喷涂超过所述付费。3。微机械陀螺仪上的加速度计[P]。1，[otlichayushchiys]通过所述该电容式位移的事实所述的移动元件拾取accelerometric的信道被喷涂超过所述的惯性质量，由在所述的[mougolnoy]板上形成的，从而从硅，和它们之前被置于所述中心部分的所述板，该电容式位移和所述的固定元件拾取的[akseleromerticheskogo]的信道被喷涂超过该付费。 |
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