| 微机械陀螺仪 |
| RU2009105378 2009-2-16 实用新型 |
| 2009-7-10 |
| 本发明是一种下该测量技术，在特定的，以该仪器的区域制造，并且它能找到一种使用移动对象之前，所述的惯性系统。微机械陀螺仪包含所述壳体，在所形成的付费从介电材料制成，外部框架，连接用于为了所述的付费通过所述弹性交叉连接，第一的惯性质量，由在所形成的矩形板从硅与所述矩形切割之前，该中心和所述开放端孔，位于与所述间隙相对于支付和用于所述起见，该外部框架的连接通过该弹性交叉连接，第二的惯性质量，由在所述形成所述矩形框架的从硅与所述开放端孔和位于所述矩形切割之前在所述的平面第一的惯性质量和连接用于所述的缘故它通过所述弹性交叉连接，该振动驱动，所述位移传感器，该块的电子设备和所述的静电拾取器的力。所述传感器的所述移动元件第二的惯性质量上的力被固定，和固定元件被固定在所述付费。所述位移传感器的输出通过所述电子设备被连接的下块第一的入口传感器的力。该传感器第二的入口向下的力通过所述微分器是连接所述位移拾取器的输出。整个装置是执行在所述形成胶囊。在该精度的增加，可靠性和操作稳定性的装置是技术结果。2[Z]。[P]。公式的，1illus。 |
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