| 力量感测器 |
| TW092120435 2003-7-25 发明申请 |
| 2005-2-1 |
| 本发明系有关於一种力量感测器装置，其包括一具一固定支撑轴之转动电极平板、两固定电极板、两光纤雷射干涉仪、一电压控制系统、一探针、以及一三轴位移压电驱动器；其系利用平衡式差动电容感测器作为力量感测器，该转动电极平板的位移量可容易地由光纤雷射干涉仪的光强度讯号侦测，并藉由静电力原理得到可追溯性的负载与控制电压关系。由於本发明具有高灵敏度、结构简单及力量可追溯性等特点，并可兼具扫瞄功能，因此可作为介面力显微镜及奈米硬度检测机构的力量感测器。 |
微信公众号