| 一种用于三维空间位置测量的激光跟踪仪 |
| TW097111216 2008-3-28 发明申请 |
| 2009-10-1 |
| 一种用于三维空间位置测量的激光跟踪仪，提供了一种空间位置测量装置，主要由两个跟踪模块和一个带有两个四象限传感器的标准测试杆组成。 标准测试杆设置于一待测物上； 当被测物体移动时，测量头被驱动； 同时，通过跟踪模块对标准测试杆进行跟踪，可以根据跟踪模块的旋转角度和一些几何计算计算出被测物体的空间位置。 由于大多数机器人手臂的测量都是由国外进口的激光跟踪器进行的，本发明通过提供一种创新的测量方法和体系结构，降低了测量的成本和复杂度。 本发明的跟踪器可应用于机器人臂以及用于晶片制造的精密2D或多维平台，以测量用于精密制造的实际位置。 |
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