| 用于扫描电子显微镜的样品封闭装置 |
| WOCN20117523 2020-9-24 发明申请 |
| 2021-4-29 |
| 一种用于扫描电子显微镜的样品封闭装置，该样品封闭装置包括：舱体(10)；容置部(20)，其具有用于容置样品的容置空间，且容置部(20)以可与舱体(10)相对移动的方式设置于舱体(10)内，以使容置部(20)至少部分地进入舱体(10)内或从舱体(10)内移出；密封件(30)，其与容置部(20)连接，并且在容置部(20)至少部分地收容在舱体(10)内时，实现容置部(20)与舱体(10)之间的密封；以及驱动件(40)，其被配置为用于驱动舱体(10)与容置部(20)的相对移动。通过使用舱体(10)将容置有样品的容置部(20)至少部分地收容在内，并且使用密封件(30)实现容置部(20)与舱体(10)之间的密封，从而避免了空气对样品的观测结果产生的影响，有利于提高观测的准确性。 |
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