| 用于质谱仪的离子源清洁靶板 |
| CN202322541773.8 2023-9-19 实用新型 |
| 2024-4-23 |
| 本实用新型公开了一种用于质谱仪的离子源清洁靶板，包括与质谱仪的靶板槽配合的底平面和倾斜设置的第一反射面，第一反射面将质谱仪的激光器发出的入射激光反射至离子源极板上。本实用新型根据质谱仪的入射激光的角度始终保持不变的特性而专门设计了清洁靶板，清洁靶板的第一反射面为倾斜面，在第一反射面移动过程中入射激光的入射点位置和高度在不断变化，使得反射光在离子源极板上的照射位置也沿左右方向移动，进而实现离子源极板不同位置的清洁，结构巧妙，降低了清洁成本和清洁难度。 |
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