| 一种质谱仪用闸板装置及其控制方法 |
| CN202311787562.0 2023-12-22 发明申请 |
| 2024-4-19 |
| 本方案涉及一种质谱仪用闸板装置及差分真空系统，包括分隔板，分隔板用于在质谱仪内部的接口腔室与四极杆质量分析器腔室之间构成分隔，分隔板上开设有连通孔；密封圈，设置在分隔板上并且环绕于连通孔；活动闸板，用于封闭连通孔；驱动机构，活动设在固定座上，驱动机构用于带动活动闸板沿着密封圈的径向方向直线往复移动；闸板弹片，设在驱动机构上并且从背离于密封圈的一侧弹性连接于活动闸板；其中，在活动闸板封闭于连通孔的状态下，闸板弹片从密封圈的轴向方向弹性顶推活动闸板紧压密封圈。本发明能简化质谱仪差分真空系统中真空腔室之间的密封结构，且结构更加稳定，故障率低，安全系数更高，以确保质谱仪的差分真空系统能够可靠运行。 |
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