| 一种获取等离子体初始能量分布状态的装置 |
| CN202311787025.6 2023-12-22 发明申请 |
| 2024-4-19 |
| 本发明公开了一种获取等离子体初始能量分布状态的装置，包括离子源，依次对称设置于离子源左右两侧的推斥脉冲电极和飞行时间质量分析器，以及设置于飞行时间质量分析器上的若干离子筛选脉冲电极和若干离子检测器；离子源用于对样品进行电离，电离后的样品形成等离子体，等离子体内包括正负离子组成的离子化气体状物质；推斥脉冲电极设置于离子产生区域的左右两侧，并输出脉宽同步、幅值相等、极性相反的脉冲高压；飞行时间质量分析器设置于离子的飞行方向上，用于分离不同质荷比或打到飞行时间质量分析器上不同平面的离子，分离后的离子直接通过离子检测器检测或通过离子筛选脉冲电极推斥到离子检测器上检测，即可得到不同离子流的强度信息。 |
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