| 使用扫描探针显微镜对表面成像的方法和使用该方法的相应系统 |
| WOGB20052705 2020-10-23 发明申请 |
| 2021-4-29 |
| 一种使用扫描探针显微镜对表面成像的方法， 该扫描探针显微镜包括探针，该探针具有从基底支撑件(2)延伸到自由端的悬臂， 以及由悬臂的自由端承载的探针尖端，和转向镜(13)，该方法包括：横向扫描探针横过表面，使得探针跟随横过表面的扫描运动； 通过转向镜将检测光束转向到探头上，检测光束以返回光束的形式从探头反射； 移动所述转向镜，使得所述检测光束跟随与所述扫描运动同步的跟踪运动，并且所述检测光束保持由所述转向镜转向到所述探头上； 使用返回光束获得图像测量值，每个图像测量值表示表面上相应点的测量高度； 通过将所述转向镜位置的目标值与所述转向镜位置的实际位置进行比较，获得所述表面上的每个点的相关高度误差测量值，每个高度误差测量值表示所测量的高度中的相应误差； 以及使用所述高度误差测量值来校正所述图像测量值，以便产生校正后的图像测量值。 |
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