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用于高分辨率束分析的装置和方法

WOEP23078222 2023-10-11 发明申请

2024-4-18

本发明提供一种以高分辨率记录离子束等带电粒子束或光束的光谱信息的装置和方法。具体地，公开了一种具有焦平面检测器的质谱仪。本发明使得能够在并行采集样品束的潜在整个光谱期间以高质量分辨能力和质量精度记录质谱数据。