| 用于质谱仪的真空系统 |
| WOGB22051435 2022-6-8 发明申请 |
| 2022-12-15 |
| 质谱仪和/或离子迁移谱仪，其包含：离子源外壳； 第一真空室，其通过第一孔口与所述离子源外壳流体连通； 隔离阀，用于至少部分地关闭所述第一孔口； 第一泵，用于在所述隔离阀关闭时对所述离子源外壳抽真空； 以及控制电路，配置成以第一模式操作光谱仪，在第一模式中，第一泵通过具有相对受限的气体通道的导管抽空离子源外壳，然后以第二模式操作光谱仪，在第二模式中，第一泵通过具有较少受限的气体通道的导管抽空离子源外壳。 |
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