质谱分析系统和方法
 
CN202311859035.6  2023-12-30  发明申请

2024-4-16
 
  本发明提供了质谱分析系统和方法,质谱分析系统包括质谱仪和进样装置,所述进样装置连接所述质谱仪;所述进样装置包括:真空腔体具有盖板,所述盖板上具有通孔,上盖用于封闭所述通孔的外侧开口;压力调整单元连通所述通孔,用于调整所述通孔内气体压力;承载板用于承载样品,并设置在所述真空腔体内;移动平台设置在所述真空腔体内,包括提供水平面上二维移动的第一移动机构和提供竖直方向移动的第二移动机构,所述第二移动机构驱动所述承载板竖直运动,封闭或打开所述通孔的内侧开口。本发明具有移动精度高等优点。
 
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