| 质谱仪 |
| WOJP22011509 2022-3-15 发明申请 |
| 2023-2-2 |
| 该质谱仪(1)包括：粗抽真空泵(30)； 涡轮分子泵(40)； 第一腔室(21)，在所述第一腔室中通过所述粗抽真空泵(30)进行排气； 第二腔室(22)，其位于第一腔室(21)的后级，氢气被引入第二腔室(22)； 第三腔室(23)，位于第二腔室(22)的后级，检测器(82)设置在第三腔室(23)中； 排气管(61)，其形成从所述第一腔室(21)至所述粗抽真空泵(30)的排气流； 以及排气管(62)，其通过涡轮分子泵(40)形成从第二室(22)和第三室(23)向排气管(61)的排气流。 质谱仪(1)向排气管(62)导入分子量比氢气高的附加气体。 |
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