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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

在半导体处理系统中检测和量化自由基浓度的装置

WOUS22029302 2022-5-13 发明申请

2022-12-8

本文公开的实施方式包括用于测量中性自由基浓度的处理工具。在一个实施例中，处理工具包括处理室和流体耦合到处理室的中性自由基质谱(NRMS)分析器。在实施方式中，NRMS分析仪包括流体耦合到处理室的第一室，其中第一室包括调制器，以及流体耦合到第一室的第二室，其中第二室是残余气体分析仪或质谱仪。在一个实施例中，无阻碍视线从处理室穿过到第二室。