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无悬臂扫描探针显微镜
US17081771 2020-10-27 发明授权
2021-4-27
一种系统包括探头组件,照相机和控制系统。 探针组件包括刚性基板, 提供在刚性衬底上的柔性层,一个或多个刚性探针可以布置在柔性层上以覆盖柔性层的至少一部分,并且反射层可以覆盖一个或多个刚性探针和柔性层的未覆盖部分。 相机被配置为从探头组件产生图像数据。 所述控制系统被配置为至少部分地基于所接收的图像数据从所述相机接收图像数据并显影样品表面的形貌图像。
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