质谱仪真空室中的压力控制
 
WOIB22050562  2022-1-21  发明申请

2022-7-28
 
  一方面, 公开了一种用于质谱分析系统的离子引导器, 其包括用于接收气流中夹带的多个离子的入口,以及多个杆,所述多个杆被布置成多极结构,以便提供接收的离子能够穿过的通道。 所述杆中的至少一个被配置为向其施加DC和/或RF电压,以在所述通道内产生适于聚焦所述离子的电磁场,以及控制器,被配置为将所述离子引导器的操作压力保持在预定范围内。
 
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