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二次离子质谱自适应计数率调制
WOIB22062895 2022-12-29 发明申请
2024-1-25
一种用于自适应二次离子质谱的方法,该方法可以包括:(a)自适应地设置影响检测器的瞬时计数率的检测参数; (b)用聚焦的一次离子束扫描评估样品; (c)由检测器感测由于扫描而喷射的二次离子,以提供检测信号; (d)基于(i)检测信号,和(ii)检测参数的值与检测器的瞬时计数率之间的映射,分析评估样品的组成。
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