| 没有发表 |
| GB2318223 2023-9-1 发明申请 |
| 2024-1-10 |
| 提供了一种用于压力传感器的波纹膜片的焊接处的泄漏检测设备，其包括检测壳体4，所述检测壳体包括检测盖41和检测基座42。 压力传感器上的一个金属波纹膜片400与检测盖之间形成膜片内腔11，金属波纹膜片与压力传感器上的一个压环300的内壁之间形成膜片外腔12。 压力环的外壁和下检测座的内壁以及传感器外壳500的一部分之间形成泄漏检测腔13。 微型真空泵(9，图5)和氦气储罐(10)通过进气孔411连通； 以及氦质谱检漏仪(8)与检漏孔412连通。 而且，描述了一种用于压力传感器的波纹膜片的焊接处的泄漏检测方法(图4)。 |
微信公众号