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用于改进试剂气体系统的纯度的周期定时器

CN202310837568.8 2023-7-10 发明申请

2024-1-9

一种系统包括：气体源，该气体源利用供应管线耦合到质谱仪，以提供试剂气体用于进行化学电离；旁路管线，该旁路管线将供应管线连接到真空泵的前级管线，该旁路管线包括阀和旁路限流器；和周期定时器，该周期定时器能够操作以在第一时间段内打开该阀，并且在第二时间段内关闭该阀。