| 一种用于图像和化学光谱分析的设备 |
| CZ20220405 2022-9-26 发明申请 |
| 2024-4-3 |
| 该解决方案的主题是一种用于有机和合成样品的图像和化学光谱分析的装置,该装置包括经典电子显微镜或环境扫描电子显微镜,该电子显微镜聚焦于放置在充满惰性气体的样品室中的支架上的样品,还包括质谱仪,该质谱仪抽吸由显微镜的电子束从样品释放的分子和离子。进入分光计(2)的离子入口由入口管(8)组成,分光计(2)通过入口管可滑动地放置在显微镜样品的腔室(6)的壁中,并且通过限制筛网(10)沿压力的长度分布到一系列具有不同真空度的差分抽吸的腔室(11)中。 |