| 一种可重复定位的扫描探针显微镜 |
| CN202110086099.1 2021-1-22 发明申请 |
| 2021-4-20 |
| 一种可重复定位的扫描探针显微镜，包括镜体、步进器、预紧部件、扫描部件和样品台；该镜体包括三个相互平行的直线导向轨道，在其中两个直线导向轨道上置有步进器，该步进器被第三个直线导向轨道通过预紧部件压在上述的两个直线导向轨道上；该步进器包括一个支撑滑块、两个内滑块和三个压电体；所述的支撑滑块的两顶端的截面均为与上述两直线导向轨道的截面相匹配的斜面，并且该支撑滑块与上述两直线导向轨道形成四点刚性接触的大力矩稳固结构。该扫描探针显微镜在粗逼近/退针过程中不产生横向偏移，它在毫米级行程往复粗逼近/后退时，探针在样品同一区域的定位偏差小于30纳米。本发明尺寸小、结构紧凑、环境兼容性强、具有可重复定位功能。 |
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