| 质谱装置和质谱方法 |
| WOJP22014581 2022-3-25 发明申请 |
| 2023-2-9 |
| 该质谱分析方法包括：用于将前体离子引入反应室的步骤1； 工序7、8，通过向原料气体供给部和高频电源部发送规定的控制信号，向自由基发生室供给原料气体和高频电力并持续规定的期间，产生等离子体，从而产生自由基； 步骤17，用于通过将自由基引入到反应室中来产生产物离子； 工序10，测定包含从所述自由基生成室内的所述等离子体射出的光的波长的波段的光的强度； 以及步骤3，用于基于光强度在除预定周期之外的周期中超过预定异常判定阈值的事实，判定并报告装置异常。 |
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