| 用於监测真空腔室的清洁度的清洁度监测器及方法 |
| TW107124779 2018-7-18 发明申请 |
| 2019-5-16 |
| 一种用於监测真空腔室的清洁度的清洁度监测器该清洁度监测器可包括质谱仪、分子聚集及释放单元及分析器该分子聚集及释放单元被配置为(a)在聚集时期期间聚集存在於该真空腔室中的有机分子及(b)在释放时期期间朝向该质谱仪诱发该等有机分子的子集的释放该质谱仪被配置为：监测该真空腔室内的环境，及产生指示该环境的内容物的侦测讯号；其中该等侦测讯号的第一子集指示该等有机分子的该子集的存在该分析器被配置为基於该等侦测讯号来决定该真空腔室的该清洁度 |
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