| 一种应用于无机质谱的微波等离子体离子源 |
| CN202311409671.9 2023-10-27 发明申请 |
| 2024-2-20 |
| 本发明涉及无机质谱技术领域，特指一种应用于无机质谱的微波等离子体离子源，包括有波导腔、介质谐振器、石英炬管和微波源；波导腔包括有矩形波导腔和连通于矩形波导腔一端的圆柱体波导腔，圆柱体波导腔为中空的波导腔；介质谐振器为环状结构，石英炬管穿设在介质谐振器中。本发明通过介质谐振器可以将更多的电场能量集中炬管中等离子体产生区域，降低微波反射，提高系统的能量利用率，同时，介质谐振器的设计可以使得电场在空间中分布相对均匀，有助于实现等离子体的均匀激发，提高等离子体的稳定性和一致性。 |
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