| 原子力显微镜系统 |
| CN202011556763.6 2020-12-24 发明申请 |
| 2021-4-16 |
| 本申请涉及一种原子力显微镜系统，原子力显微镜系统将第一电极作为导电针尖的引出电极，不需要采用单独的细金属线或新增的金属膜电极即可将导电针尖的电信号引出，可简化石英音叉型探针引线结构，显著降低导电探针制备的难度。为了克服两个电极之间的信号干扰，将激励信号转变为对于针尖和样品的共模信号，即：将激励信号同时施加到第一电极和样品上。由于电极共用，激励信号信号实际上也施加到了导电针尖上。这样，导电针尖和样品之间的电势差等于第一样偏压信号，而不会受到激励信号的影响。另外，导电针尖的偏压信号为零，因此可以避免导电针尖的偏压信号对激励信号的影响，进而克服了偏压电信号和激发信号之间的串扰。 |
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