| 一种用于大气压接口质谱仪的真空系统 |
| CN202311589902.9 2023-11-27 发明申请 |
| 2024-1-26 |
| 本发明涉及质谱仪检测环境技术领域，尤其是一种用于大气压接口质谱仪的真空系统，由差级真空腔体、质谱接口、前级真空泵、真空规、气体流量调节阀和控制模块构成。本发明的一种用于大气压接口质谱仪的真空系统中控制电路、真空规、气体流量调节阀和第一级真空规腔体共同构成一个闭环控制系统，通过控制模块实时读取真空规的测量值，并与其设定的目标气压进行比较，基于比较误差对气体流量调节阀的开度进行实时控制，提升控制精度，保持维持第一级真空腔压力稳定；即使质谱接口前端的气流扰动、质谱接口的流阻变化和前级真空泵的抽速波动这些不稳定的干扰因素存在，本系统也能保持第一级真空腔体内的压力恒定。 |
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