| 导电性组合物 |
| JP2019135270 2019-7-23 发明申请 |
| 2021-2-15 |
| [A]在维持涂敷的同时，在形成图案时所使用的带电粒子束上形成抗蚀剂层，难以发生形成涂敷膜的导电组合物的图案化。 本发明的导电性组合物是导电性聚合物(a)[溶液]水溶性聚合物含有溶剂(b)(c)，提取水溶性聚合物试液(b)，使用高效液相色谱仪进行测定，式(I)所确定的面积比小于0.2。 式中 : (i)=Y/X···面积比(i)， X是总离子流色谱图， 使用以下化合物(m)900衍生分子离子以产生提取的离子色谱峰面积是以下物质的总和： 总离子流色谱图是Y，下列化合物的分子量(m)900，方程式(1)衍生自用提取的离子色谱图产生的离子峰的面积值之和表示的化合物。 [1A]附图 |
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