| 射频电压测量电路及质谱仪 |
| CN202310879067.6 2023-7-17 发明申请 |
| 2023-10-24 |
| 本发明提出一种射频电压测量电路及质谱仪,该射频电压测量电路包括:取样模块、精密整流模块以及电压测量模块;取样模块用于采集四极杆输出的射频电压信号,并将射频电压信号传输至精密整流模块;精密整流模块用于对射频电压信号进行反向放大,对放大后的射频电压信号进行整流,并将生成的直流电压信号传输至电压测量模块,以使电压测量模块对直流电压信号的电压值进行测量。由于本发明通过取样模块采集四极杆输出的射频电压信号,并通过精密整流模块对射频电压信号进行反向放大,再对放大后的射频电压信号进行整流,最后将生成的直流电压信号传输至电压测量模块进行测量,相比于现有的,本发明提升了测量结果的准确度。 |