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质谱仪
JP2022145665 2022-9-13 发明申请
2024-3-26
“挑战”提供一种能够以弱的力打开分隔质谱仪和装载锁闭装置的分隔门并以强的力关闭的质谱仪。[解决方案]在包括在真空状态下进行质谱分析的质谱仪和承载样品板或从质谱分析移除样品板的装载锁闭装置的质谱仪中,质谱分析单元和装载锁闭装置连通,并且输送样品板。 设置有辅助隔断门关闭开口部的状态的电磁铁MG,设置有控制对电磁铁的通电的控制单元CU。 3
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