| 一种用于成像质谱的光学显微镜装置 |
| CN202311662042.7 2023-12-6 发明申请 |
| 2024-3-22 |
| 本发明涉及质谱分析仪技术领域,特别涉及一种用于质谱成像的光学显微镜装置。包括光源、分光板、相机及光学元件,其中光学元件同轴设置于离子提取传输系统的外侧,分光板设置于光源的前方,相机与分光板同轴布置,光学元件包括同轴依次设置主反射镜、平面反射镜及次反射镜,光源发出的光束依次经过分光板和光学元件后聚焦在样品的表面,光线再沿原路返回且透过分光板在相机上成像。本发明结构紧凑,体积小,由光源发出的光线经过分光板、平面反射镜、次反射镜和主反射镜的反射之后聚焦在样品表面,之后携带样品表面的光线返回透过分光板最终成像在相机上,光线利用率高,而且光学成像的过程与离子提取和传输过程互不干涉。 |