| 包括等离子体源的仪器的热管理 |
| US16795833 2020-2-20 发明申请 |
| 2021-8-26 |
| 公开了用于分析系统的热管理装置，所述分析系统包括诸如电感耦合等离子体的等离子体源。 一种分析系统可包括：等离子体源，其被配置为等离子体源，该等离子体源被配置为接收样品并使样品电离以产生电离样品；以及诸如质谱仪或光学发射光谱仪的仪器，其被配置为接收并分析电离样品。 热屏蔽可以位于等离子体源和仪器之间，并且热屏蔽可以被构造和布置成引导来自等离子体源的加热气体和/或等离子体远离仪器。 在一些情况下，加热的气体和/或等离子体可以从包含等离子体源的腔室中提取。 |
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