具有副法兰的飞行时间质谱仪组件
 
WOUS22028494  2022-5-10  发明申请

2022-11-17
 
  一种飞行时间质谱仪组件,包括具有面向真空室的表面和面向环境的表面的凸缘。 凸缘限定在面对真空室的表面和环境供给表面之间延伸的开口。 多个堆叠部件由法兰的面向真空室的表面支撑,第二法兰可拆卸地固定在法兰的开口内。 副法兰包括面向真空室的表面和面向环境的表面。 被支撑的光谱仪部件由第二凸缘的面向真空室的表面支撑,使得第二凸缘从凸缘的移除起到从由凸缘的面向真空室的表面支撑的多个堆叠部件移除被支撑的部件的作用。
 
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