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一种扫描探针显微镜探针及触点检测方法
JP2021009827 2021-1-25 发明申请
2021-4-15
[A]在斜面探针与试样接触的情况下,检测试样表面接触探针的按压力值,与水平相比能够改善现象,一种扫描探针显微镜探针及接触检测方法。 使探针与样品表面接触, 样品表面由扫描探针显微镜探针扫描, 包括悬臂的探针头, 设置悬臂挠度和扭转位移量检测部分,由检测部分检测的位移,基于在各个方向上的扭转量的探针中的悬臂相对于样品表面的挠度,并与初步确定部分接触。 图1[附图]
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