| 电子枪，电子显微镜，三维层压成形装置及电子流调整方法 |
| JP2019184262 2019-10-7 发明申请 |
| 2021-4-15 |
| 在阴极产生[A]以抑制离子轰击，增加复杂的机构是必要的。 电子枪11a， 阴极20被加热并发射热电子， 阴极20向阴极提供用于加热阴极加热电流的电源， 在第二开口的顶端的阴极20沿着中心轴1形成， 阴极20低于施加到栅极的电压， 第二栅极21穿过开口1以聚焦电子， 沿中心轴线2形成第二孔， 施加阳极电压， 阴极20和阳极22在电子束2从热电子B引出时通过第一开口， 提供施加到阳极的阳极电压的阳极电压，施加到来自电源控制部分10的正电势的阳极电压和施加到阳极2522的阳极电压。 图3[附图] |
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