| 一种扫描电子显微镜 |
| WOCN20116599 2020-9-21 发明申请 |
| 2021-4-15 |
| 本申请公开了一种扫描电子显微镜，包括：电子光学镜筒，用于产生电子束，并将电子束聚焦到样品上；第一探测器，用于接收电子束作用于所述样品上产生的电子；第二探测器，用于接收电子束作用于所述样品上产生的光子；所述第二探测器包括反射器和光子检测器，所述反射器为环形，覆盖在所述样品四周的上方，所述反射器将由所述样品上产生的光子反射到所述光子检测器上。本申请提供的扫描电子显微镜，实现大范围收集光子，光子检测器的接收效率高。 |
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