用于质谱仪的宽范围电子碰撞离子源
 
WOUS22020293  2022-3-15  发明申请

2022-9-29
 
  一种用于质谱仪的宽范围离子源,包括第一部分和位于第一部分下游的第二部分。 所述第一部分包括阳极和第一灯丝,所述第一灯丝定位在所述阳极附近并且相对于所述阳极固定就位。 第一灯丝暴露于处理室的压力下。 第一电子排斥器具有至少部分圆形的形状。 所述第二部分包括管状阳极,围绕所述管状阳极的第二灯丝,限定开口的提取透镜和将离子传导到体积中的聚焦透镜。
 
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