| 用于在线二次离子质谱的多等离子体离子源 |
| US17941473 2022-9-9 发明申请 |
| 2024-3-14 |
| 方法利用预混合的气体混合物，使用在线二次离子质谱法(SIMS)工艺在衬底上执行计量工艺。 将两种或更多种气体的预混合气体混合物注入到等离子体室中，该等离子体室被配置为产生用于在线SIMS工艺的溅射离子。 所述两种或更多种气体产生非金属离子物质，所述非金属离子物质与下游衬底制造工艺相容，并且允许在完成内联SIMS工艺之后在衬底上执行进一步制造。 溅射离子从等离子体室喷射到磁场中。 改变磁场的强度以选择单一种类的离子。 将单一种类的离子导向衬底的表面，并且检测和分析由所选种类的离子从衬底的表面溅射的次级离子。 |
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